質量流量控制器是一種測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償，可根據需要進行流量設定，自動地將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。
該控制器被制造用來測量和監控從每分鐘幾毫升到每分鐘幾千升的范圍，它的連接方式也有很多種，比如卡套連接、螺紋連接、寶塔嘴連接以及法蘭連接等多種方式。正是因為它準確度高，重復性好的特點，進而被很多領域都接受，比如它可應用在石油化工、冶金、汽車電子、實驗室、制氣配氣等行業中。在檢測氣體或液體的擴散，氧化，光纖熔煉，以及真空鍍膜設備，微反應裝置，混氣配氣系統，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造設備中都有用到本產品，可見該產品的作用之大。
那么質量流量控制器會受到哪些方面的影響呢？
1、流速問題
壓縮氣體密度低，流速快，其影響不能忽略。理想情況下，流速增大則振動管的振動頻率減小。通常流體密度變化小，可以認為流速與流體質量流量正比，因此流速的補償可以轉化為流量變化的非線性因素進行補償。
2、壓力狀況
在加氣機中使用的控制器測量的氣體的壓力不低于20MPa，壓力遠遠大于大氣壓。高壓改變了振動管的內應力，提高了彈性管的等效剛度，從而使振動管的振動頻率增大，兩管的相位差減小；氣體流經振動管時，存在壓降，使得振動管受力不對稱，這也對相位差有影響。
3、溫度影響
用于加氣機的CMF工作溫度遠低于室溫，溫度影響必須考慮；介質溫度或環境溫度變化會改變測量振動管的楊氏模量和影響零漂的結構等各種因素。
